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코사카 접촉식 표면 박막 단차(두께) 측정기

절삭가공, 코팅, 증착 후에, ITO, Wafer 위의 회로 패턴의, 표면 거칠기, 표면 프로파일, 표면의 박막, 후막 단차(두께), 패턴 단차, 표면 평탄도, 표면 진직도 등을 측정하는 장비

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접촉식 박막 두께 측정기 ET10000 사양

측정 항목

거칠기 조도 측정 Ra,Rz,Rt,Rq,RSm,R 프로파일(profile), BAC, ADC 등

파상도 측정 Wa,Wz,Wp,Wv,Wq,WSm,Wmr(c),Wt,W 프로파일(profile) 등

표면 단차(두께) 측정,표면 형상 해석(옵션)

측정범위

Z축: 100 μm X축: 100 ㎜ (옵션)

분해능(Resolution)

Z축: 0.1 ㎚

측정물 크기

3080x2880 ㎜

측정력

10μN ~ 500μN( 1mgf ~ 50mgf)

진직도

0.1μm/100mm이하

필터(Filter)

2CR,Gaussian

측정규격(Standard)

JIS 2001,1994,1982, ISO 1997, ASME 1995,DIN4776,

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