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접촉식 표면 거칠기(조도) 표면 단차 측정기 ET4000A 사양


측정 항목

거칠기 조도 측정 Ra,Rz,Rt,Rq,RSm,R 프로파일(profile), BAC, ADC 등

파상도 측정 Wa,Wz,Wp,Wv,Wq,WSm,Wmr(c),Wt,W 프로파일(profile) 등

표면 단차(두께) 측정,표면 형상 해석(옵션)

측정범위

Z축: 100 μm X축: 100 ㎜ (옵션)

분해능(Resolution)

Z축: 0.1 ㎚

측정력

5μN ~ 500μN( 0.05mgf ~ 50mgf)

최대샘플 크기

210 x 210㎜

스테이지 크기

220 x 220㎜

진직도

X축: 0.1μm/100mm이하

Y축 이동량

150mm

Y축 최하이동 길이

1μm

필터(Filter)

2CR,Gaussian

측정규격(Standard)

JIS 2001,1994,1982, ISO 1997, ASME 1995,DIN4776,

Copyright 동일테크노 경기도 안양시 동안구 흥안대로427번길 57-2 평촌아이에스비즈타워 공장동 1504호 T) 02-3472-6426 F)

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