접촉식 표면 거칠기(조도) 표면 단차 측정기 ET4000A 사양
측정 항목
거칠기 조도 측정 Ra,Rz,Rt,Rq,RSm,R 프로파일(profile), BAC, ADC 등
파상도 측정 Wa,Wz,Wp,Wv,Wq,WSm,Wmr(c),Wt,W 프로파일(profile) 등
표면 단차(두께) 측정,표면 형상 해석(옵션)
측정범위
Z축: 100 μm X축: 100 ㎜ (옵션)
분해능(Resolution)
Z축: 0.1 ㎚
측정력
5μN ~ 500μN( 0.05mgf ~ 50mgf)
최대샘플 크기
210 x 210㎜
스테이지 크기
220 x 220㎜
진직도
X축: 0.1μm/100mm이하
Y축 이동량
150mm
Y축 최하이동 길이
1μm
필터(Filter)
2CR,Gaussian
측정규격(Standard)
JIS 2001,1994,1982, ISO 1997, ASME 1995,DIN4776,