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접촉식+비접촉 광학식 겸용 표면 형상 측정기 코사카 ET600

박막 코팅(Coating), 증착, 스퍼터링(SPUTTERING), PECVD, 나노 가공, 패턴공정, 식각(에칭) 후, 필름, PCB, FPCB, ITO, 패턴, SEAL, 블랙매트릭스 표면의 형상을 측정하거나 단차(깊이, 높이, 두께), 피치(폭), 거칠기, 평탄도, 진직도를 측정하는 측정기

스타일러스 프로파일러(Stylus Profiler)+광학 프로파일러(Optical Profiler) 겸용

3차원표면 형상 측정기(분석기), 표면 단차 측정기 겸용이고 미세 형상 측정기라고 부르기도 합니다.


측정 방식

  • 접촉식 스타일러스 프로파일러
  • 비접촉 광학식 레이저 Auto Focus
  • 광 백색 간섭식(WSI)

검출기 설치

ET600

본체 설치

ET600

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