윤곽 형상 측정 할 때, 검출기를 X축 방향(가로방향)으로 이송시키고 X축 이송 길이를 측정하는 linear encoder를 내장하고 있는 장치이다.
0~100 mm (100mm 이상은 선택사항)
0.1 μm
1.0 μm/100mm 이하
아래 버튼을 클릭하면, 가상으로 축의 작동을 보여줍니다.
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